(Ti,Al)N涂层组织结构及其性能的研究
王永康,夏立芳,刘万怀
摘要(Abstract)：
运用空心阴极离子镀方法在M2钢表面沉积了(Ti,Al)N涂层,并用SEM、XRD、TEM和XPS等方法分析了(Ti,Al)N涂层的组织结构和组份。结果表明,(Ti,Al)N为面心立方结构,其组织呈细柱状晶,晶粒平均尺寸小于0.1μm。在(Ti,Al)N组织表面有一层TiO_2氧化膜,厚度约50nm;在(Ti,Al)N与基体界面区存在一过渡层,其组成为α-Ti和FeTi相。涂层性能试验表明,随基体温度的提高和氮流量在一定范围内的增加,(Ti,Al)N涂层的硬度和耐磨性也增加。这主要归结于(Ti,Al)N涂层的择优生长取向为(111)晶面和涂层组织的致密化。与TiN涂层相比,(Ti,Al)N涂层的抗氧化性能提高了,这主要是涂层表面生成Al_2~-O_3~-,降低了(Ti,Al)N涂层的氧化速度。
关键词(KeyWords)： 高速钢;(Ti,Al)N涂层;表面分析
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作者(Author): 王永康,夏立芳,刘万怀
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参考文献(References)：
- 1 Knotek O. On the Properties of Physically Vapour-Deposited Ti-Al-V-N Coatings. Thin Solid Films, 1987, 153: 83～91．
- 2 Randhawa H. New Developments in Decorative Vacuum Coatings. Metal Finishing, 1988(9) : 19～22．
- 3 王福贞等.表面沉积技术.北京:机械工业出版社,1987,93．
- 4 王永康.切削刀具的涂层处理.国外金属热处理,1987,8(4) :45～47．
- 5 王永康等.一种新型涂层材料的组织结构.国外金属热处理,1990,11(5) :1～5．
- 6 王永康.高速钢表面新型涂层组织结构及性能研究.学位论文,哈尔滨:哈尔滨工业大学研究生院,1990．
- 7 吉林工大等编.物理化学.北京:机械工业出版社,1984．
- 8 徐祖耀.金属材料热力学.北京:科学出版社,1981．