兵器材料科学与工程

2000, (05) 55-58

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工艺因素对TiAlN多元涂层成分的影响
EFFECT OF PROCESS PARAMETERS ON COMPOSITION OF MULTI-COMPONENT TiAlN COATING

熊仁章,夏立芳,雷廷权

摘要(Abstract):

用多弧离子镀方法制备了不同成分的TiAlN多元涂层 ,研究并讨论了沉积工艺参数对涂层成分的影响规律和影响机理 ,探讨了涂层成分的控制方法。

关键词(KeyWords): 多弧离子镀;TiAlN涂层;成分

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 熊仁章,夏立芳,雷廷权

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