兵器材料科学与工程

2021, v.44;No.308(05) 23-28

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双面研磨Si_3N_4圆柱滚子表面质量研究
Study on surface quality of double-sided grinding Si_3N_4 cylindrical rollers

李颂华;严传振;孙健;

摘要(Abstract):

为实现Si_3N_4圆柱滚子表面的精密加工,探究不同研磨工艺参数对试件表面粗糙度的影响规律。用双平面研磨进行单因子试验,通过粗糙度检测仪、扫描电镜对试件表面粗糙度、表面形貌进行分析。使用W5金刚石磨料、质量分数为3%的研磨液、研磨时间为30 min时,试件表面粗糙度为0.043 3μm;而研磨速度为15 r/min时,表面粗糙度最小,为0.035 9μm。双平面研磨中磨料粒度越小,试件表面粗糙度越低;研磨液的浓度、研磨时间、研磨速度对试件表面粗糙度的影响先减后增,合理采用研磨工艺参数,可得到高质量Si_3N_4圆柱滚子。

关键词(KeyWords): 双面研磨;Si_3N_4圆柱滚子;表面粗糙度;表面质量

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(51975388);; 辽宁省自然科学基金(2019-MS-266;2019-ZD-0666;2020-BS-159)

作者(Author): 李颂华;严传振;孙健;

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.20210628.001

参考文献(References):

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