兵器材料科学与工程

2016, v.39;No.279(06) 52-55

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强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究
Phase transition of vanadium dioxide thin films under strong electric field

李昂;王庆国;王腾;王妍;成伟;

摘要(Abstract):

为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统。通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性。结果表明:外施场强达到600 k V/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700k V/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间。

关键词(KeyWords): 二氧化钒薄膜;磁控溅射;强电场环境;场致相变;电导率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金项目(51277180)

作者(Author): 李昂;王庆国;王腾;王妍;成伟;

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.20161020.004

参考文献(References):

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