兵器材料科学与工程

2008, v.31;No.229(04) 36-40

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用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量
Effect of curved magnetic filtering on quality of TiN thin films prepared by the AIP technique

瞿全炎;曾德长;史新伟;刘正义;

摘要(Abstract):

采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN薄膜表面,细化TiN晶粒,形成结合紧密的膜基结构。

关键词(KeyWords): TiN薄膜;弯曲磁过滤;薄膜质量;粗大柱状晶;细小柱状晶

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广州市科技计划2006Z2-D0131与2006Z3-D0281的资助

作者(Author): 瞿全炎;曾德长;史新伟;刘正义;

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