兵器材料科学与工程

2001, (04) 28-30

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CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响
EFFECT OF GRAIN SIZE OF CVD DIAMOND FILM ON THERMAL CONDUCTIVITY

黄元盛,刘正义,瞿全炎,丘万奇

摘要(Abstract):

用直流等离子喷射法 ,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料 ,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜。对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究 ,指出其一般规律 ,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律。

关键词(KeyWords): 金刚石;薄膜;晶粒尺寸;热导率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广东省自然科学基金资助项目 ;资助号 :990 5 4 8 ;; 国家教委博士点基金资助项目 ;批准号 :1 9990 5 61 2 1

作者(Author): 黄元盛,刘正义,瞿全炎,丘万奇

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