兵器材料科学与工程

2005, (03) 48-53

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

基于SOI材料的兵器微电子技术应用分析
Application research of micro - electron technology for ordnance equipment based on SOI material

张新,高勇,王彩琳,邢昆山,安涛

摘要(Abstract):

随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制。而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术,是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术。介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景。

关键词(KeyWords): SOI材料技术;SOI结构;兵器微电子技术

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 张新,高勇,王彩琳,邢昆山,安涛

Email:

DOI:

参考文献(References):

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享