兵器材料科学与工程

2001, (01) 68-71

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薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较
COMPARISON OF THREE DIFFRACTION GEOMETRIES IN X-RAY STRESS TESTINGS OF THIN FILM

张铭,何家文

摘要(Abstract):

对比了薄膜 X射线应力测试的三种衍射几何 ,结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点 ,所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了 PVD和 PCVD工艺的 Ti N薄膜的内应力情况 ,结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。

关键词(KeyWords): 掠射侧倾法;常规法;侧倾法;薄膜

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目!(编号 :5 973 10 2 0 )

作者(Author): 张铭,何家文

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.2001.01.020

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