用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究Study on metallic mask method for preparing nano-multilayers
由臣,赵燕平,孙永昌,王玉红,刘技文
摘要(Abstract)：
简介了现有金属腌膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置。试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度。
关键词(KeyWords)： 纳米多层膜;定位框;套准;模板
基金项目(Foundation): 天津市高等学校科技发展基金(01-20216)
作者(Author): 由臣,赵燕平,孙永昌,王玉红,刘技文
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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.2004.03.012
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