兵器材料科学与工程

2004, (03) 44-45

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用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究
Study on metallic mask method for preparing nano-multilayers

由臣,赵燕平,孙永昌,王玉红,刘技文

摘要(Abstract):

简介了现有金属腌膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置。试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度。

关键词(KeyWords): 纳米多层膜;定位框;套准;模板

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 天津市高等学校科技发展基金(01-20216)

作者(Author): 由臣,赵燕平,孙永昌,王玉红,刘技文

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