化学气相沉积钨的组织与力学性能研究Microstructure and mechanical properties of CVD tungsten
侯岳翔;李树奎;孙红婵;鲁旭东;宋修纲;
摘要(Abstract)：
用扫描电镜上的EBSD装置研究化学气相沉积法制备的高纯钨的晶体取向,化学气相沉积钨具有{110}〈001〉取向织构;用电子万能试验机和分离式霍普金森杆(SHPB)研究纯钨的准静态(10-3s-1)和动态(2000～5000s-1)压缩力学性能,并与等轴晶重熔钨进行对比分析,沉积钨的屈服强度由静态时的1350MPa上升到动态时的2000MPa以上,是应变率敏感材料,等轴晶纯钨的静动态屈服强度高于柱状晶沉积纯钨,柱状晶沉积纯钨有明显的应变硬化效应。沉积钨柱状晶组织的塑性变形方式除滑移外,还有大量的孪晶产生。
关键词(KeyWords)： 化学气相沉积;应变率效应;力学性能;高纯钨;变形机制
基金项目(Foundation):
作者(Author): 侯岳翔;李树奎;孙红婵;鲁旭东;宋修纲;
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