兵器材料科学与工程

1997, (02)

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沉积参数对 CVD-ZnS 块材料组织及力学性能的影响
EFFECT OF DEPOSITION PARAMETERS ON STRUCTURE AND MECHANICAL PROPERTIES OF CVD-ZnS BULK MATERIAL

憨勇,郑修麟,刘正堂

摘要(Abstract):

化学气相沉积ZnS是一种脆性材料,其硬度由晶粒尺寸控制,符合Hal-Petch关系,而对晶体缺陷微孔不敏感;断裂韧性则同时受晶粒尺寸及微孔的控制。沉积温度是决定ZnS晶粒大小的主要因素,同时也影响ZnS中的微孔数量;H2S/Zn摩尔流量比、沉积速率则仅影响ZnS中的微孔及微裂纹的存在与否。

关键词(KeyWords): ZnS,晶粒尺寸,微孔,硬度,断裂韧性

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国防科技预研基金

作者(Author): 憨勇,郑修麟,刘正堂

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