兵器材料科学与工程

2010, v.33;No.240(03) 46-50

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感应等离子工艺参数对制备电容器级钽粉性能的影响
Effect of induction plasma process parameters on the prepared capacitor grade tantalum powder performance

梁栋;侯击波;殷涛;尚福军;史洪刚;黄伟;史文璐;

摘要(Abstract):

为实现对感应等离子技术制备电容器级钽粉粒度、形貌的控制,进行改变等离子工艺参数的粉体制备工艺试验,研究冷却气体流量、送入粉体的进口位置、等离子气氛对粉体粒度及其形貌的影响。结果表明,感应等离子工艺参数的变化可以显著改变制备粉体的性能。制备的钽粉全部为球形,感应等离子技术可以完成纳米级电容器钽粉的制备。

关键词(KeyWords): 感应等离子;电容器级;纳米;钽粉

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 梁栋;侯击波;殷涛;尚福军;史洪刚;黄伟;史文璐;

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