兵器材料科学与工程

2018, v.41;No.286(01) 101-104

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包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究
Preparation process and performance analysis of coated magnetic abrasive

刘静;陈红玲;侯志燕;李唯东;刘静远;白旭;

摘要(Abstract):

针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe_3O_4为核、SiO_2为壳的包覆型磁性磨粒。通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工性能研究。结果表明,包覆型磁性磨粒的制备工艺简单,性能良好,且用此包覆型磁性磨粒可以有效加工硅片。

关键词(KeyWords): 包覆型磁性磨粒;性能分析;硅片加工试验

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(51175365);; 山西省自然科学基金(201701D12076)

作者(Author): 刘静;陈红玲;侯志燕;李唯东;刘静远;白旭;

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