兵器材料科学与工程

2001, (05) 50-52

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HFCVD法合成金刚石的初期生长过程
Initial growth process of diamond crystal synthesized by HFCVD method

邱万奇,刘正义

摘要(Abstract):

用XL30FEG扫描电镜对热丝化学气相沉积 (HFCVD)法合成的金刚石颗粒的初期生长过程进行了研究。结果表明 ,金刚石在 p -Si(10 0 )基片上的初始形核密度很高 ,可达 10 10 /cm2 ;在随后的颗粒长大过程中 ,颗粒快速长大 ,颗粒密度急剧减少 ;颗粒的长大速率随其尺寸的增大而减小 ,最后趋于一稳定值

关键词(KeyWords): HFCVD;金刚石;形核;生长速率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 广东省自然科学基金资助项目 ;;批准号 :990 5 48;; 国家教委博士点基金资助项目 ;批准号 :19990 5 6 12 1

作者(Author): 邱万奇,刘正义

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