兵器材料科学与工程

1983, (03) 32-38

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扫描电子显微镜的进展

赵坚

摘要(Abstract):

<正> 一、引言 自从1965年12月英国剑桥科学仪器公司生产出第一台商品扫描电镜以来,至今虽只有17年,但可以说,其发展速度极快,现在已相当普及。各种型号的扫描电镜不断涌现,它们的各项性能指标不断有所提高,功能不断扩大,设计和制造日臻完善。

关键词(KeyWords):

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 赵坚

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.1983.03.005

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