兵器材料科学与工程

2017, v.40;No.284(05) 15-19

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Al化衬底对MOCVD生长AlN的影响
Effect of TMAl preflow on AlN grown by MOCVD

贾辉;崔烨;石璐珊;周玉宏;欧元锦;

摘要(Abstract):

采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石衬底上高温外延生长高温Al N外延层,着重研究Al化蓝宝石衬底的时间对样品的结构、形貌和面内应变等产生的影响。采用原位监测系统监测外延生长过程、扫描电子显微镜(SEM)表征样品的表面形貌、X线衍射(XRD)分析样品的晶体质量与残余应变。结果表明:适当的Al化衬底可以使高温Al N外延层表面更加平整,面内应变得到部分释放,但是Al化衬底会引起外延层的结晶质量变差。

关键词(KeyWords): 衬底处理;;Al N;;晶体质量;;应变

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 贾辉;崔烨;石璐珊;周玉宏;欧元锦;

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