兵器材料科学与工程

2017, v.40;No.285(06) 26-29

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沉积工艺参数对磁控溅射AlSn20Cu涂层性能的影响
Effect of deposition parameter on properties of AlSn20Cu coating prepared by magnetron sputtering

宋惠;刘智勇;唐纬虹;杨润田;凌国平;

摘要(Abstract):

针对目前国内柴油机轴瓦减摩涂层研究的不足,采用非平衡磁控溅射技术制备AlSn20Cu涂层,通过单因素变量法系统地研究基体温度、沉积气压以及基体偏压等参数对AlSn20Cu减摩涂层性能的影响,最终确定AlSn20Cu涂层的最优制备条件。在考察AlSn20Cu涂层的力学性能与摩擦学性能后发现:基体温度与沉积气压两个因素对AlSn20Cu涂层的结合力影响较小,而对涂层硬度有较大影响;基体偏压对涂层的结合力与硬度均有较大影响。实验还制备出具有优异力学性能和摩擦学性能的AlSn20Cu涂层的轴瓦样品。

关键词(KeyWords): AlSn20Cu涂层;制备参数;性能;轴瓦

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(51705482);; 中国博士后科学基金(2017M612041)

作者(Author): 宋惠;刘智勇;唐纬虹;杨润田;凌国平;

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.20171031.003

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