兵器材料科学与工程

2021, v.44;No.306(03) 88-93

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图形化FeNi纳米颗粒薄膜制备与性能研究
Preparation and properties of patterned FeNi nanoparticle films

欧修龙;熊仙;王迪;王绍明;

摘要(Abstract):

采用电场辅助沉积技术和光刻剥离工艺,在5~40 kV沉积电场作用下,以Si(100)为衬底,制备一系列条纹宽度为40μm的Fe_(50)Ni_(50)纳米颗粒薄膜材料。采用XRD、SEM、AFM及VSM等测试方法,研究薄膜结构、形貌和磁性能;用单端口短路微带线法对其微波性能进行表征。结果表明:增加沉积电场大小,可方便、有效实现条纹结构Fe_(50)Ni_(50)纳米颗粒薄膜饱和磁化强度MS和面内单轴磁各向异性场Hk值同时提高,使薄膜铁磁共振频率向更高频段移动。

关键词(KeyWords): 软磁薄膜;磁性能;电场辅助沉积;面内单轴磁各向异性

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 湖北省自然科学基金(2019CFB777);; 国家级大学生创新创业训练计划项目(20190518002X;20190518003X);; 湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(T2020024)

作者(Author): 欧修龙;熊仙;王迪;王绍明;

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.20210318.003

参考文献(References):

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