兵器材料科学与工程

1987, (03) 21

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磁控溅射非晶态金属涂层

摘要(Abstract):

<正> 用磁控溅射方法沉积的难熔金属一类金属基合金非晶态涂层具有极高的硬度和耐磨性。这类涂层具有特殊的防护性能主要归因于其在1000℃以下仍保持热稳定性的非晶态结构。此涂层十分致密、无针孔,表面十分光滑,在酸液和中性液中抗化学腐蚀性能极高。在适当的高沉积速率下,磁控溅射可形成高附着性涂层。同时,磁控溅射可沉积多

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.1987.03.008

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