兵器材料科学与工程

1992, (07) 31-36

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TiN涂层表面氧化层研究

王永康,夏立芳

摘要(Abstract):

在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它由吸附的氧通过TiN略作畸变而形成。

关键词(KeyWords): 物理气相沉积;TiN涂层;表面分析

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家教委博士学科基金;; 中科院北京中关村地区联合分析测试基金

作者(Author): 王永康,夏立芳

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DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.1992.07.008

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